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凈化車間中靜電一般都怎么處理的
？

來源：無錫易純凈化　日期：2018/7/18 17:59:16　人氣：113返回

靜電是最難控制的因素之一

，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多

、降低電子設(shè)備的可靠性

。實(shí)踐證明，在半導(dǎo)體器件的制造和測(cè)試過程中

、在運(yùn)輸和儲(chǔ)存中

、在設(shè)備的安裝和調(diào)試以及使用過程中，半導(dǎo)體器件都可能受到靜電的作用

。因此

，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，實(shí)際上所有的制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用

。

消除靜電的方法很多

，對(duì)有防靜電環(huán)境要求的潔凈室工程，常用以下幾種方法:

1.選用合適的材料：

采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料

，多種材料共同使用時(shí)

，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體

。導(dǎo)體是電流能通過的材料

，絕緣體是電流不能通過的材料。

2.接地：

接地是帶電導(dǎo)體消除靜電最為普遍

、經(jīng)濟(jì)

、簡(jiǎn)便、可靠的方法

。

(1) 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備

、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施

。

(2) 電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂

、地面、墻

、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾

，可以抑制塵埃的帶電吸附。

(3) 工藝設(shè)備接地

。

(4)辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地

。

(5)工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽

、手套

、腕帶等。

3.中和：

將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后

，帶電的離子在電磁場(chǎng)作用下發(fā)生遷移

，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電。

靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置

，它產(chǎn)生的電子

、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電

。絕緣材料表面所帶的靜電荷

、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。

4.濕度控制：

在眾多消除靜電的方法中

，室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來減少和消除潔凈室靜電

。通過在環(huán)境中保持高的相對(duì)濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層

，利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道

，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。另外

，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤(rùn)滑性

，摩擦生電也將減少。一般來說

，濕度越低

，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明

，甚至在濕度高時(shí)也會(huì)產(chǎn)生顯著的靜電電壓

，但是，在高濕度環(huán)境中

，生產(chǎn)人員可能會(huì)感覺十分不舒服

，零部件可能生銹，并產(chǎn)生可焊性問題

。同時(shí)

，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的，尤其在干燥地區(qū)更是如此

。

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