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各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求

來源：無錫凈化廠家　日期：2017/2/14 21:09:12　人氣：352返回

現(xiàn)今

，無塵車間潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制

，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同

、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同

，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容

、指標(biāo)均不會相同

。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑

、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備

、工器具等的污染物控制以及微振動

、噪聲、靜電的控制

、防止等

。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料

、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染，有的無塵車間還要求供給超純水

、超純氣體和高純的化學(xué)品等

。

1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度

，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明：

例一

、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工

、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路

，圖形特形尺雨1.0um

，控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū)	ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD 、外延、擴(kuò)散等操作區(qū)	ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū)	ISO 5級

例二

、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工

、生產(chǎn)5英寸硅片

、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um

，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū)	ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD 、外延、擴(kuò)散等操作區(qū)	ISO 4級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū)	ISO 6級

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展

，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化

，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量

，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種

、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)

、生產(chǎn)工藝設(shè)備

、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明：

例一

、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間

，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕

、易攜帶

、耗電低

、色彩逼真、大容量

、高分辨示等優(yōu)點

。

各無塵車間空氣潔凈度等級

，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間	ISO 4級
顯影、刻蝕間	ISO 5級
成盒間	ISO 5級
濺射、CVD間	ISO 6級

例二

、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

各無塵車間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭	ISO 5級
備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間	ISO 6級
組裝、維修間和部分原料庫	ISO 7級
砂磨、化驗間和配件間	ISO 8級

成品庫和部分原料庫準(zhǔn)潔凈間

、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

例一

、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

無塵車間空氣潔凈度等級要求